荣芯半导体(宁波)有限公司陈文刚获国家专利权
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龙图腾网获悉荣芯半导体(宁波)有限公司申请的专利一种反应腔气体排放系统及其过滤装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224024557U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520532212.8，技术领域涉及：B01D46/24；该实用新型一种反应腔气体排放系统及其过滤装置是由陈文刚;谭国平;王歆;张昊设计研发完成，并于2025-03-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种反应腔气体排放系统及其过滤装置在说明书摘要公布了：一种反应腔气体排放系统及其过滤装置，所述的排放系统包括：通过排气管道连接的反应腔室和干泵，排气管道上设置有控压阀；位于排气管道的中部，在控压阀和干泵之间设置有过滤装置；所述的过滤装置采用过滤网或泵过滤装置。所述的泵过滤装置为柱形结构，其顶部封闭，底部连通，侧壁上设置有过滤孔；所述底部的外壁一体化连接有与排气管道内壁一致的密封衔接部，密封衔接部固定安装在排气管道的内壁上。本实用新型能够解决现有技术中涨膜产生的副产物或者PM时物品掉落而引起的干泵过载导致泵损坏，大幅提高涨膜工艺的稳定性和可靠性，提高干泵的使用周期,为半导体器件的制造提供更高质量的膜层，并提升整个制程的良率和可控性。
本实用新型一种反应腔气体排放系统及其过滤装置在权利要求书中公布了：1.一种反应腔气体排放系统的过滤装置，其特征在于：所述的过滤装置4为柱形结构，其顶部封闭，底部设有与排气管道2连通的开口，侧壁上设置有多个过滤孔43；所述底部的外壁一体化连接有与排气管道2内壁形状一致的密封衔接部42，密封衔接部固定安装在排气管道的内壁上。
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