无锡九霄科技有限公司肖上获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡九霄科技有限公司申请的专利一种半导体晶圆检测用除尘装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224026035U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520736864.3，技术领域涉及：B08B11/00；该实用新型一种半导体晶圆检测用除尘装置是由肖上;王萍设计研发完成，并于2025-04-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体晶圆检测用除尘装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体晶圆检测用除尘装置，包括箱体，箱体内部设有第一滑槽，通过第一滑块与支撑杆滑动连接，支撑杆内又设置第二滑槽并连接第二滑块，第二滑块后端固定连接件，箱体底部设有集尘仓及清理机构，清理机构涵盖负压吸尘装置、第一吸尘管、第一吸尘口、第二吸尘管与第二吸尘口，此外，第一驱动电机输出端连接螺纹杆并与第一滑块螺纹连接，连接件后端连接第二驱动电机及辊筒毛刷，集尘仓上端有承载台，支撑杆上端经顶板连接电动伸缩杆，电动伸缩杆底部与连接件相连，箱体后端设置负压吸尘装置。通过上述结构，该装置可灵活调整清理部件位置，实现对不同规格晶圆的高效除尘，提升半导体晶圆检测前的清洁度，保障检测精度。
本实用新型一种半导体晶圆检测用除尘装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体晶圆检测用除尘装置，包括箱体1，其特征在于：所述箱体1的内部设置有第一滑槽6，所述第一滑槽6的内壁通过第一滑块7滑动连接有支撑杆15，所述支撑杆15的内部设置有第二滑槽16，所述第二滑槽16的内壁滑动连接有第二滑块17，所述第二滑块17的后端固定连接有连接件20，所述箱体1的底部设置有集尘仓9，所述箱体1的底部设置有清理机构； 所述清理机构包括负压吸尘装置3、第一吸尘管13、第一吸尘口14、第二吸尘管19与第二吸尘口22。
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