上海积塔半导体有限公司宋林飞获国家专利权
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龙图腾网获悉上海积塔半导体有限公司申请的专利一种研磨保持环获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224027298U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520711666.1，技术领域涉及：B24B37/32；该实用新型一种研磨保持环是由宋林飞;杨俊男;闫晓晖;苏婷婷设计研发完成，并于2025-04-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种研磨保持环在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种研磨保持环，所述研磨保持环包括晶圆限位件和若干滚珠，所述晶圆限位件形成有用于套设于晶圆外的圆形通孔；所述晶圆限位件的高度与晶圆厚度匹配；所述晶圆限位件还形成有用于容纳滚珠的滚珠限位槽，所述滚珠限位于所述滚珠限位槽内，部分凸出于晶圆限位件的底面，所述滚珠限位槽与滚珠间隙连接，以使得滚珠在滚珠限位槽内仅能自转。本申请所述滚珠凸出于晶圆限位件的底面，使得所述研磨保持环与研磨垫接触时，滚珠陷入研磨垫，研磨头的压力主要分布于滚珠上；而晶圆限位件与研磨垫仅接触，所受压力较小，使得晶圆限位件底面与研磨垫之间的摩擦损耗较小，延长所述研磨保持环的使用寿命。
本实用新型一种研磨保持环在权利要求书中公布了：1.一种研磨保持环，其特征在于，所述研磨保持环包括晶圆限位件10和若干滚珠11，所述晶圆限位件10形成有用于套设于晶圆外的圆形通孔；所述晶圆限位件10的高度与晶圆厚度匹配； 所述晶圆限位件10还形成有用于容纳滚珠11的滚珠限位槽13；所述滚珠11限位于所述滚珠限位槽13内，且部分凸出于晶圆限位件10的底面；所述滚珠限位槽13与滚珠11间隙连接以使得滚珠11在滚珠限位槽13内仅能自转。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海积塔半导体有限公司，其通讯地址为：201306 上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区云水路600号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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