厦门陆远科技有限公司邓勇获国家专利权
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龙图腾网获悉厦门陆远科技有限公司申请的专利一种超薄硅片加工工作台获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224027299U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423318412.8,技术领域涉及:B24B41/00;该实用新型一种超薄硅片加工工作台是由邓勇;林秋标设计研发完成,并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种超薄硅片加工工作台在说明书摘要公布了:本实用新型涉及硅片加工领域,公开了一种超薄硅片加工工作台,加工台上转动插接有固定气管,加工台下端设有驱动固定气管转动的旋转机构,加工台底部固定连接有支撑架,支撑架上固定连接有固定气泵,固定气泵输入端固定连接有抽气管,抽气管与固定气管端部转动连接,固定气管上端固定连接有固定气盘,固定气盘上设有均匀布置的固定气孔;加工台上端固定连接有与固定气管同轴布置的定位盒,定位盒上设有与固定气管配合的过孔,定位盒外设有沿环形阵列布置的插孔,插孔内均滑动插接有定位臂,定位盒内设有驱动所述定位臂同步滑动的定心机构。本实用新型与现有技术相比优点在于,能够在对硅片夹持时,有效防止对硅片表面造成损伤。
本实用新型一种超薄硅片加工工作台在权利要求书中公布了:1.一种超薄硅片加工工作台,包括加工台1以及支撑腿2,所述加工台1上设有打磨机构,其特征在于: 所述加工台1上转动插接有固定气管3,所述加工台1下端设有驱动所述固定气管3转动的旋转机构,所述加工台1底部固定连接有支撑架27,所述支撑架27上固定连接有固定气泵28,所述固定气泵28输入端固定连接有抽气管29,所述抽气管29与所述固定气管3端部转动连接,所述固定气管3上端固定连接有固定气盘4,所述固定气盘4上设有均匀布置的固定气孔12; 所述加工台1上端固定连接有与所述固定气管3同轴布置的定位盒5,所述定位盒5上设有与所述固定气管3配合的过孔,所述定位盒5外设有沿环形阵列布置的插孔14,所述插孔14内均滑动插接有定位臂,所述定位盒5内设有驱动所述定位臂同步滑动的定心机构。
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