浙江吉进科技有限公司庄鹏程获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江吉进科技有限公司申请的专利一种减薄机吸附装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224027314U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520031975.4，技术领域涉及：B24B41/06；该实用新型一种减薄机吸附装置是由庄鹏程设计研发完成，并于2025-01-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种减薄机吸附装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种减薄机吸附装置，包括吸附台，吸附台的上端面上呈螺旋状开设有螺旋吸附槽，螺旋吸附槽的两侧侧壁上均沿着螺旋吸附槽的走向设有若干的吸附孔，吸附台内设有匀压室，若干的吸附孔分别通过一根连通管与匀压室连通，匀压室的下端连接真空管，真空管连接真空泵，真空管上设有第一阀门，将晶圆贴上蓝膜后放置在吸附台上，完全盖住螺旋吸附槽，螺旋吸附槽通过吸附孔、匀压室以及真空管连接真空泵使螺旋吸附槽内产生负压吸附住晶圆，从而实现晶圆的线性受力，受力面积更大，从而可以降低真空度达到同样的吸附力度。
本实用新型一种减薄机吸附装置在权利要求书中公布了：1.一种减薄机吸附装置，其特征在于，包括吸附台1，所述吸附台1的上端面上呈螺旋状开设有螺旋吸附槽2，所述螺旋吸附槽2的两侧侧壁上均沿着螺旋吸附槽2的走向设有若干的吸附孔3，所述吸附台1内设有匀压室4，若干的吸附孔3分别通过一根连通管12与匀压室4连通，所述匀压室4的下端连接真空管5，所述真空管5连接真空泵，所述真空管5上设有第一阀门6； 所述匀压室4的底部朝下方延伸并呈缩口状设置； 所述匀压室4的下端连接竖直的排水管7，所述排水管7的上端与匀压室4下端的最低处连接，所述排水管7上设有第二阀门8，所述真空管5连接在排水管7上，所述真空管5与排水管7的连接处位于第二阀门8与匀压室4之间。
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