中环领先半导体科技股份有限公司石磊峰获国家专利权
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龙图腾网获悉中环领先半导体科技股份有限公司申请的专利一种抛光液循环供液系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224027347U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520560458.6，技术领域涉及：B24B57/02；该实用新型一种抛光液循环供液系统是由石磊峰;温玉楠;王慧设计研发完成，并于2025-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种抛光液循环供液系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种抛光液循环供液系统，涉及半导体硅片抛光液回收利用技术领域，包括循环供液单元、供给单元、回收单元、回收管路和供给管路，循环供液单元至少包括抛光液桶、第一管路和第二管路，其中：第一管路用于连接抛光液桶和抛光设备；第二管路用于连接抛光液桶和回收单元；回收单元通过回收管路连接抛光设备；供给单元通过多个供给管路与抛光液桶连接；抛光液桶、第一管路、抛光设备、回收管路、回收单元、第二管路依次连接形成循环回路，本实用新型的有益效果是能够极大地降低耗材成本，提高耗材寿命及产品质量。
本实用新型一种抛光液循环供液系统在权利要求书中公布了：1.一种抛光液循环供液系统，其特征在于，包括循环供液单元、供给单元、回收单元、回收管路和供给管路，所述循环供液单元至少包括抛光液桶、第一管路和第二管路，其中： 所述第一管路用于连接所述抛光液桶和抛光设备； 所述第二管路用于连接所述抛光液桶和所述回收单元； 所述回收单元通过所述回收管路连接所述抛光设备； 所述供给单元通过多个所述供给管路与所述抛光液桶连接； 所述抛光液桶、所述第一管路、所述抛光设备、所述回收管路、所述回收单元、所述第二管路依次连接形成循环回路。
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