深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司肖水英获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司申请的专利RPD设备炉膛供靶装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224031078U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520522491.X,技术领域涉及:C23C14/22;该实用新型RPD设备炉膛供靶装置是由肖水英;葛光星;廖天保;左忠祥设计研发完成,并于2025-03-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本RPD设备炉膛供靶装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种RPD设备炉膛供靶装置,炉膛设有真空腔室;所述供靶装置包括:传输机构,所述传输机构的两侧均至少设有一个放靶区,所述传输机构内滑动有放置靶材的载具;供靶机构,所述传输机构沿其滑动方向设有至少一个供靶机构,每个所述供靶机构分别与一个所述真空腔室的进靶口相对应,所述供靶机构用于将靶材通过所述进靶口送入所述真空腔室;顶靶机构,每个所述供靶机构的下方匹配安装有顶靶机构,所述顶靶机构用于将所述载具上的靶材顶入对应的所述供靶机构。这样能降低上靶难度,提高靶材的上靶速度;且还能减少靶材在空气中的暴露时间,保证了靶材的正常使用。
本实用新型RPD设备炉膛供靶装置在权利要求书中公布了:1.一种RPD设备炉膛供靶装置,炉膛设有真空腔室;其特征在于,所述供靶装置包括: 传输机构10,所述传输机构10的两侧均至少设有一个放靶区20,所述传输机构10内滑动有放置靶材的载具30; 供靶机构40,所述传输机构10沿其滑动方向设有至少一个供靶机构40,每个所述供靶机构40分别与一个所述真空腔室的进靶口相对应,所述供靶机构40用于将靶材通过所述进靶口送入所述真空腔室; 顶靶机构50,每个所述供靶机构40的下方匹配安装有顶靶机构50,所述顶靶机构50用于将所述载具30上的靶材顶入对应的所述供靶机构40。
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