昆山晟成光电科技有限公司王强获国家专利权
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龙图腾网获悉昆山晟成光电科技有限公司申请的专利一种钙钛矿Inline式真空镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224031082U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520520408.5，技术领域涉及：C23C14/24；该实用新型一种钙钛矿Inline式真空镀膜设备是由王强;杨星;周文彬;祖国良设计研发完成，并于2025-03-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种钙钛矿Inline式真空镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种钙钛矿Inline式真空镀膜设备，包括蒸镀腔、设于蒸镀腔的下部中心的蒸发源、设于蒸镀腔的上部的移动机构、由移动机构驱动移动的载板以及设于蒸镀腔外的真空泵；蒸镀腔以载板的输送面为分界面分为上腔和下腔，真空泵通过安装法兰连接在蒸镀腔的外部，安装法兰内形成一个空腔，空腔的上部直接连通下腔，空腔的侧方通过上吸气管连通上腔的侧壁，空腔的侧方还通过下吸气管连通下腔的侧壁。本实用新型中上腔与下腔的吸气位置独立开来并设为三个，所以上腔不需要通过下腔吸气，而是直接从上吸气管获得吸力，这样蒸镀腔的所有空间都可以快速抽气到真空状态，上腔与下腔之间不会有很大的压力差，避免镀率产生较大波动，镀膜稳定，重复性好。
本实用新型一种钙钛矿Inline式真空镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种钙钛矿Inline式真空镀膜设备，包括蒸镀腔、设于所述蒸镀腔的下部中心的蒸发源、设于所述蒸镀腔的上部的移动机构、由所述移动机构驱动移动的载板以及设于蒸镀腔外的真空泵；其特征在于：所述蒸镀腔以所述载板的输送面为分界面分为上腔和下腔，所述真空泵通过安装法兰连接在所述蒸镀腔的外部，所述安装法兰内形成一个空腔，所述空腔的上部直接连通所述下腔，所述空腔的侧方通过上吸气管连通所述上腔的侧壁，所述空腔的侧方还通过下吸气管连通所述下腔的侧壁。
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