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龙图腾网获悉华汉科技有限公司申请的专利磁控溅射靶材组件获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224031084U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520471579.3，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型磁控溅射靶材组件是由黎永康;麦智超;杨建栋设计研发完成，并于2025-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本磁控溅射靶材组件在说明书摘要公布了：本实用新型涉及靶材技术领域，公开了磁控溅射靶材组件，具体包括底座、基座、靶材安装座和靶材，所述底座顶部的中部设有凹槽，所述凹槽的内腔设有升降结构，所述基座通过升降结构与底座连接；所述升降结构包括滚珠丝杆、与滚珠丝杆连接的升降管和与升降管一侧连接的位移传感器，所述升降管的顶部与基座的底部固定连接，所述凹槽的底部固定连接有标定块。该磁控溅射靶材组件，利用位移传感器监测升降管的升降量，排除升降结构的磨损对升降量的影响，使得该靶材组件的调节精度高，使用效果好，并通过对滚珠丝杆润滑和降温的方式，降低滚珠丝杆和滚珠螺母的磨损，延长升降结构使用寿命，降低该靶材组件使用时的维护成本。

本实用新型磁控溅射靶材组件在权利要求书中公布了：1.磁控溅射靶材组件，包括底座、基座、靶材安装座和靶材，其特征在于：所述底座顶部的中部设有凹槽，所述凹槽的内腔设有升降结构，所述基座通过升降结构与底座连接；所述升降结构包括滚珠丝杆、与滚珠丝杆连接的升降管和与升降管一侧连接的位移传感器，所述升降管的顶部与基座的底部固定连接，所述凹槽的底部固定连接有标定块，所述标定块位于位移传感器的正下方； 所述滚珠丝杆顶端的外圈设置有储油盒，所述储油盒的内腔活动连接有挤压板，所述挤压板通过电动伸缩杆一与储油盒连接，所述滚珠丝杆上设有润滑腔，所述润滑腔的外侧均匀设有排油孔，所述润滑腔顶端的外圈均匀设有单向阀，所述单向阀的进液端延伸至储油盒的内腔； 所述滚珠丝杆为中空结构，所述滚珠丝杆的底部活动连接有进液管，所述滚珠丝杆内腔的顶端活动连接有连接管，所述连接管的顶部与基座的底部固定连接，所述基座的底部设有连接通道，所述基座的内腔设有冷却通道，所述冷却通道的一端与连接管的内腔通过连接通道连通，所述冷却通道的另一端设置有出液管，所述出液管的另一端延伸至底座的外部，且出液管与底座活动连接； 所述靶材安装座的顶部活动连接有旋转块，所述旋转块的另一端连接有测距传感器。

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