深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司贾永健获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司申请的专利真空镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224031090U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520571047.7，技术领域涉及：C23C14/56；该实用新型真空镀膜设备是由贾永健;左忠祥;葛光星;王正杰设计研发完成，并于2025-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本真空镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种真空镀膜设备，包括：设备本体，设备本体内设置有交替排列的至少一个加热室和至少一个工艺室，加热室和工艺室内设置有至少一个加热器，加热器具有多个独立控温的加热区；传输装置，安装在设备本体上，用于在加热室与工艺室之间传送承载有基片的载盘；本实用新型通过设置加热器具有多个独立控温的加热区，各加热区的加热温度可根据载盘的温度变化分布情况实时调控，保证载盘上基片的温度分布均匀，满足膜层均匀性要求，提升镀膜质量。
本实用新型真空镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括： 设备本体，所述设备本体内设置有交替排列的至少一个加热室和至少一个工艺室，所述加热室和所述工艺室内设置有至少一个加热器，所述加热器具有多个独立控温的加热区； 传输装置，安装在所述设备本体上，用于在所述加热室与所述工艺室之间传送承载有基片的载盘。
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