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龙图腾网获悉浙江精工集成科技股份有限公司申请的专利一种具有多样品沉积工装的化学气相沉积炉获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224031091U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520772380.4，技术领域涉及：C23C16/00；该实用新型一种具有多样品沉积工装的化学气相沉积炉是由马金龙;李照谦;谢钢;李爱军设计研发完成，并于2025-04-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种具有多样品沉积工装的化学气相沉积炉在说明书摘要公布了：一种具有多样品沉积工装的化学气相沉积炉，属于沉积炉设备技术领域；通过在传统的沉积炉中设置多样品沉积工装，多样品沉积工装通过多条沉积室可以通过载物台单独存放多种工件，利用设置的下通道，将原材料均匀的通向单独的沉积室中进行沉积，此种结构结合了竖式管式炉高精度与空腔体积小的优势，又结合了沉积炉可以大批量生产的优势，可以在炉体的内部大批量精准的对工件进行加工，有效的解决了管式炉产量低、沉积炉精度不够及原材料浪费的问题。

本实用新型一种具有多样品沉积工装的化学气相沉积炉在权利要求书中公布了：1.一种具有多样品沉积工装的化学气相沉积炉，包括气源与炉体，其特征在于：所述气源包括气罐14、原料罐13与混气罐12，所述气罐14与原料罐13均与混气罐12进行联通，且与混气罐12之间均设置有质量流量计16，所述混气罐12与炉体之间连接有进气管道8，在所述进气管道8上设有气体加热器15，所述炉体包括上炉体10与下炉体11，两者可进行分离与闭合，所述进气管道8延伸至下炉体11内部，并在端部设置下炉体进气口7，所述炉体内设置有多样品沉积工装，所述多样品沉积工装包括工装上部20与工装下部21，所述工装下部21设于下炉体11中，所述工装上部20设于上炉体10中，所述工装下部21包括多条环形阵列设置的下通道25，每条下通道25的下端汇集在一起形成工装进气口6，每条所述下通道25内部设置通道开关5，每条所述下通道25的上端设置沉积室22，所述沉积室22为纵向竖直设置，所述沉积室22的底部设置载物台24，所述工装下部21的工装进气口6与下炉体11中的下炉体进气口7连接，所述工装上部20包括多条环形阵列设置的上通道26，每条上通道26的上端汇集在一起形成工装出气口19，所述工装上部20通过工装出气口19与上炉体10连接，多条所述上通道26与多条所述下通道25一一对齐设置，上炉体10与下炉体11闭合时上通道26与下通道25相互连接。

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