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龙图腾网获悉苏州纳印光电科技有限公司申请的专利一种气体分配系统及镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224031094U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520720854.0，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种气体分配系统及镀膜设备是由孙卓同;马瑞设计研发完成，并于2025-04-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种气体分配系统及镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体加工技术领域，公开一种气体分配系统及镀膜设备。其中气体分配系统包括喷头和加工气体供给气路，加工气体供给气路包括第一主管路、第一三通阀、真空泵和加工气体供给支路，第一三通阀包括第一接口、第二接口和第三接口，第一接口连通于第一主管路的一端，第二接口连通于喷头，第三接口连通于真空泵；加工气体供给支路的第一管路连通于第一主管路的侧壁，第一管路上依次设置有第一氮气供给装置、第一阀体和第二阀体；第二管路的上游连通于第一阀体和第二阀体之间，第二管路的下游连通于第一主管路的侧壁，第二管路上依次设置有第三阀体、加工气体容器和第四阀体。

本实用新型一种气体分配系统及镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种气体分配系统，其特征在于，包括喷头1和加工气体供给气路2，所述加工气体供给气路2包括第一主管路21、第一三通阀22、真空泵和加工气体供给支路23，所述第一三通阀22包括第一接口、第二接口和第三接口，所述第一接口连通于所述第一主管路21的一端，所述第二接口连通于所述喷头1，所述第三接口连通于所述真空泵； 所述加工气体供给支路23包括第一管路231、第二管路232、加工气体容器233、第一氮气供给装置234、第一阀体235、第二阀体236、第三阀体237和第四阀体238，所述第一管路231连通于所述第一主管路21的侧壁，所述第一管路231上依次设置有第一氮气供给装置234、第一阀体235和第二阀体236； 所述第二管路232的上游连通于所述第一阀体235和所述第二阀体236之间，所述第二管路232的下游连通于所述第一主管路21的侧壁，所述第二管路232上依次设置有所述第三阀体237、所述加工气体容器233和所述第四阀体238。

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