河南汇达印通科技股份有限公司张朝阳获国家专利权
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龙图腾网获悉河南汇达印通科技股份有限公司申请的专利一种基板的氧化装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224031097U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521063287.2，技术领域涉及：C23C22/00；该实用新型一种基板的氧化装置是由张朝阳;谷广亮设计研发完成，并于2025-05-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基板的氧化装置在说明书摘要公布了：本发明涉及基板生产技术领域，名称是一种基板的氧化装置，其包括装置架和安装在装置架上的氧化槽，所述的氧化槽具有左侧的进入端和右侧的出来端，在进入端安装有基板的送进辊轮，在氧化槽的外周的装置架上还安装有导向辊轮，这些导向辊轮是外导向辊轮，还有环形的衬托带安装在外导向辊轮上，所述的衬托带是橡胶制成的，所述的衬托带的上面还伸入进氧化槽，所述的衬托带在氧化槽内和氧化路线下侧贴合并同步运行，所述的衬托带和氧化路线贴合的一面是贴合面。具有减少氧化液的浪费、节省成本、减少对基板造成的损伤的优点。本发明还提供基板的氧化方法。
本实用新型一种基板的氧化装置在权利要求书中公布了：1.一种基板的氧化装置，包括装置架和安装在装置架上的氧化槽，所述的氧化槽具有左侧的进入端和右侧的出来端，在进入端安装有基板的送进辊轮，在出来端安装有基板的承接辊轮，在氧化槽内安装有基板的导向辊轮，这些导向辊轮是内导向辊轮，基板在送进辊轮、内导向辊轮和承接辊轮的作用下形成氧化路线，其特征是：在氧化槽的外周的装置架上还安装有导向辊轮，这些导向辊轮是外导向辊轮，还有环形的衬托带安装在外导向辊轮上，所述的衬托带是橡胶制成的，所述的衬托带的上面还伸入进氧化槽，所述的衬托带在氧化槽内和氧化路线下侧贴合并同步运行，所述的衬托带和氧化路线贴合的一面是贴合面。
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