苏州迈为科技股份有限公司吴其涛获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州迈为科技股份有限公司申请的专利防止硅片碎片吸入抽气泵的组件及硅片镀膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224032730U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202322843554.5,技术领域涉及:F04B37/14;该实用新型防止硅片碎片吸入抽气泵的组件及硅片镀膜设备是由吴其涛;张永胜;彭孝龙设计研发完成,并于2023-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本防止硅片碎片吸入抽气泵的组件及硅片镀膜设备在说明书摘要公布了:本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域,尤其涉及一种防止硅片碎片吸入抽气泵的组件及硅片镀膜设备。该防止硅片碎片吸入抽气泵的组件包括第一管路和第二管路,第二管路的一端与第一管路的中部连通,另一端连通于抽气泵;第一管路具有上开口和下开口,上开口与真空腔室连通,沿第一方向,下开口位于第二管路的下方,且上开口和下开口连通,下开口处可拆卸地连接有封堵件,封堵件被配置为封堵下开口。由于第一管路的下开口位于第二管路的下方,硅片碎片会掉落在第一管路的下开口与第二管路之间的收集区内,从而避免了硅片碎片被抽气泵吸入抽气泵内而损坏抽气泵的现象,降低了后期的维护成本,提高工作效率。
本实用新型防止硅片碎片吸入抽气泵的组件及硅片镀膜设备在权利要求书中公布了:1.防止硅片碎片吸入抽气泵的组件,其特征在于,包括第一管路100和第二管路200,所述第二管路200的一端与所述第一管路100的中部连通,另一端连通于抽气泵400;所述第一管路100具有上开口110和下开口,所述上开口110与真空腔室500连通,沿第一方向,所述下开口位于所述第二管路200的下方,且所述上开口110和所述下开口连通,所述下开口处可拆卸地连接有封堵件300,所述封堵件300被配置为封堵所述下开口。
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