芯恩(青岛)集成电路有限公司朱思伦获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利摆阀及半导体处理设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224033102U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520784238.1，技术领域涉及：F16K1/22；该实用新型摆阀及半导体处理设备是由朱思伦;赵建蕾;张琦设计研发完成，并于2025-04-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本摆阀及半导体处理设备在说明书摘要公布了：本申请提供了一种摆阀及半导体处理设备，其中，摆阀阀板、旋转叶片、驱动电机，阀板设置在目标反应腔体的敞口处，所述阀板上设有多个气体流道，每个气体流道内均转动连接有旋转叶片，每个旋转叶片均通过一个驱动电机进行驱动，驱动电机转动时，带动旋转叶片转动，以调节所述气体流道的开口程度，与现有技术中通过摆阀摆动开启目标反应腔体的技术方案相比，降低了摆阀在开启时对目标反应腔体内的环境造成影响，提高目标反应腔体内环境的稳定性，从而防止因目标反应腔体内气压的快速变化而引起的颗粒物脱落，进而保证晶圆的质量。
本实用新型摆阀及半导体处理设备在权利要求书中公布了：1.一种摆阀，设置于半导体处理设备中目标反应腔体与真空泵的连通部位，其特征在于，包括： 阀板，设置在目标反应腔体的敞口处，所述阀板上设有多个气体流道，多个所述气体流道沿所述阀板的径向间隔； 多个旋转叶片，与多个所述气体流道一一对应，每个所述旋转叶片分别转动连接于与之相对应的所述气体流道内； 多个驱动电机，与多个所述旋转叶片一一对应，每个所述驱动电机连接于与之相对应的所述旋转叶片； 所述驱动电机用于驱动所述旋转叶片在与之相对应的所述气体流道内转动，以调节所述气体流道的开口程度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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