深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司汪葛明获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司申请的专利硅片干燥装置及激光划片设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224034278U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520769991.3，技术领域涉及：F26B15/18；该实用新型硅片干燥装置及激光划片设备是由汪葛明;周文超;朱文宇;周宏业设计研发完成，并于2025-04-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本硅片干燥装置及激光划片设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种硅片干燥装置及激光划片设备，包括用于输送硅片的传输组件；保温组件，包括覆盖部分传输组件的保温箱，及位于保温箱内且出风口朝向传输组件上的硅片的排风结构；集风组件，包括位于传输组件下方的至少一个风室，每个风室均通过第一管道与排风结构相通；加热组件，用于加热经过风室的空气；其中，风室用于收集保温箱内的热风，并通过第一管道输送至排风结构内，以实现热风的循环利用。本实用新型通过保温箱、第一管道和风室形成的循环风道，将保温箱内的热风再次吹至硅片上，实现热传导加热风循环的复合烘干，这样不仅加快了烘干速度，而且降低热损失，进而降低了能量消耗。
本实用新型硅片干燥装置及激光划片设备在权利要求书中公布了：1.一种硅片干燥装置，包括用于输送硅片的传输组件10；其特征在于，还包括： 保温组件20，包括覆盖部分所述传输组件10的保温箱201，及位于所述保温箱201内且出风口朝向所述传输组件10上的硅片的排风结构202； 集风组件40，包括位于所述传输组件10下方的至少一个风室401，每个所述风室401均通过第一管道402与所述排风结构202相通； 加热组件30，用于加热经过所述风室401的空气； 其中，所述风室401用于收集所述保温箱201内的热风，并通过所述第一管道402输送至所述排风结构202内，以实现热风的循环利用。
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