北京芯源科技有限公司闫占忠获国家专利权
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龙图腾网获悉北京芯源科技有限公司申请的专利一种离子注入机的晶圆盒底部平行度检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224034644U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520831844.4，技术领域涉及：G01B21/30；该实用新型一种离子注入机的晶圆盒底部平行度检测装置是由闫占忠;孙福奇;张晓宁;肖俊杰设计研发完成，并于2025-04-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种离子注入机的晶圆盒底部平行度检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了半导体制造设备技术领域的一种离子注入机的晶圆盒底部平行度检测装置，包括可拆卸式盖合连接的底板和中间垫板，所述底板靠近中间垫板的一面开设有多个带有线槽的方形槽，且多个方形槽位于底板表面靠近角落的位置，所述底板的每个方形槽内均固定安装有传感器支架，且每个传感器支架内均固定安装有压力传感器，所述压力传感器通过线路电性连接PLC控制系统，且线路埋设在所述线槽中，所述中间垫板远离底板的一面安装有中部垫块和多个周向垫块，所述中间垫板的表面开设有与方形槽相对应的通槽。本实用新型通过多传感器协同工作实现晶圆盒放置状态的实时监控，快速定位偏差方位，提升工艺效率与设备运行稳定性。
本实用新型一种离子注入机的晶圆盒底部平行度检测装置在权利要求书中公布了：1.一种离子注入机的晶圆盒底部平行度检测装置，其特征是，包括可拆卸式盖合连接的底板1和中间垫板2，所述底板1靠近中间垫板2的一面开设有多个带有线槽的方形槽，且多个方形槽位于底板1表面靠近角落的位置，所述底板1的每个方形槽内均固定安装有传感器支架3，且每个传感器支架3内均固定安装有压力传感器4，所述压力传感器4通过线路电性连接PLC控制系统，且线路埋设在所述线槽中，所述中间垫板2远离底板1的一面安装有中部垫块5和多个周向垫块6，所述中间垫板2的表面开设有与方形槽相对应的通槽，当所述底板1和中间垫板2盖合安装完成时，所述压力传感器4的压力检测面沿通槽露出。
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