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龙图腾网获悉量伙半导体设备(上海)有限公司申请的专利一种RTP退火炉温控预警系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224034795U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520628323.9，技术领域涉及：G01K7/02；该实用新型一种RTP退火炉温控预警系统是由余云龙;吴云鹏;汪知昱;王玉冰设计研发完成，并于2025-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种RTP退火炉温控预警系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种RTP退火炉温控预警系统，涉及退火炉温度控制技术领域，本实用新型使用多个温度传感器组，每组均包含的第一传感器和第二传感器，所有第一传感器连接到多路选择开关，所有第二传感器连接到另一个独立的多路选择开关，构成两路独立的温度采集路径，形成了冗余通路，在出现一路温度采集路径故障时，能够切换至备用路径，此外由于多路选择开关的设计，让即使一个传感器出现故障，其他传感器的正常工作不会受到影响，减少了因单点故障导致的温度监测失效风险，同时，电压预警模块能够针对温度传感器组中每一个传感器的输出进行独立监测和预警，当任一传感器的温度超出设定范围时，系统均能够及时发出警报。

本实用新型一种RTP退火炉温控预警系统在权利要求书中公布了：1.一种RTP退火炉温控预警系统，包括温度传感器组10和多路选择开关20，其特征在于： 所述温度传感器组10设置有至少两组，每组温度传感器组10内部均包括第一传感器11和第二传感器12，所述多路选择开关20设置有两组，所有第一传感器11和其中一组多路选择开关20的输入端电性连接，所有第二传感器12和另外一组多路选择开关20的输入端电性连接，所述温度传感器组10用于采集RTP退火炉内部的温度数据，并转化为电压信号发送至多路选择开关20； 所述多路选择开关20的地址选通端和移位控制器30电性连接，用于在移位控制器30的控制下从输入的电压信号中选择一个电压信号，每组多路选择开关20的输出端均电性连接有电压预警模块40和模数转换模块60，所述电压预警模块40用于在移位控制器30输出的电压信号超出预设范围时进行报警； 所述模数转换模块60和控制器模块70电性连接，用于将多路选择开关20输出的电压信号转化为数字量发送至控制器模块70。

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