东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司李志龙获国家专利权
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龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利一种晶圆检测设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224035294U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520490000.8，技术领域涉及：G01N23/2251；该实用新型一种晶圆检测设备是由李志龙;赵金玉设计研发完成，并于2025-03-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆检测设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆检测设备，包括样品腔室，用于放置待检测的晶圆；电子枪室，与样品腔室连通设置；电子枪，设置在电子枪室内，用于向样品腔室内的晶圆发射电子束；气动通道阀，设置于样品腔室和电子枪室之间，并由气路驱动开闭以实现样品腔室和电子枪室之间的通断；和电磁阀，设置于气路中，并配置成由电路驱动开闭以实现气路的通断。通过电磁阀控制气路的通断来实现气动通道阀的开闭控制，在样品腔室内的真空度变得较低时，可以及时通过关闭气动通道阀来避免样品腔室的气体逸散到电子枪室中，从而避免对电子枪造成不利影响。
本实用新型一种晶圆检测设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆检测设备，其特征在于，包括： 样品腔室，用于放置待检测的晶圆； 电子枪室，与所述样品腔室连通设置； 电子枪，设置在所述电子枪室内，用于向所述样品腔室内的晶圆发射电子束； 气动通道阀，设置于所述样品腔室和所述电子枪室之间，并由气路驱动开闭以实现所述样品腔室和所述电子枪室之间的通断；和 电磁阀，设置于所述气路中，并配置成由电路驱动开闭以实现所述气路的通断。
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