上海积塔半导体有限公司刘畅获国家专利权
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龙图腾网获悉上海积塔半导体有限公司申请的专利一种失效分析样品的样品载台及其制备装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224035355U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520035315.3，技术领域涉及：G01N33/00；该实用新型一种失效分析样品的样品载台及其制备装置是由刘畅;罗俊一;周山设计研发完成，并于2025-01-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种失效分析样品的样品载台及其制备装置在说明书摘要公布了：本申请提供一种失效分析样品的样品载台及其制备装置。所述样品座包括样品座、旋转部和壳体。样品座的底面用于固定样品，旋转部包括定子和转子，转子与样品座连接，壳体的内部填充缓冲液体，且壳体与定子连接。通过缓冲液体的设置，在研磨压力突然增大时，缓冲液体能吸收突变的压力，起到缓冲的作用，避免发生过度去层的情况。通过将缓冲液体设为具有预定体积比的弹性体胶囊和硅油，能够对有效研磨压力进行设定，以保证对某一特定层的去除，适应不同膜层的去除需求。通过转动部的设置，利用研磨时距离轴心距离不同产生的线速度差带动样品座的旋转，使样品不同位置的研磨时间和接触的磨料数量相等，实现均匀去层。
本实用新型一种失效分析样品的样品载台及其制备装置在权利要求书中公布了：1.一种失效分析样品的样品载台，其特征在于，包括： 样品座，所述样品座的底面用于固定样品连接块； 旋转部，包括定子和转子，所述定子套设于所述转子的外侧，且所述转子与所述定子转动连接，所述转子与所述样品座固定连接； 壳体，所述壳体为底部开口、内部中空的柱状结构，所述壳体的内部填充缓冲液体，所述壳体的底部设置封圈，所述封圈用于将缓冲液体密封于所述壳体的内部，所述定子从所述壳体的底部插设于所述壳体内，且与所述封圈的底部固定连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海积塔半导体有限公司，其通讯地址为：201306 上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区云水路600号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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