长川科技(苏州)有限公司杜振东获国家专利权
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龙图腾网获悉长川科技(苏州)有限公司申请的专利晶圆载入机及晶圆检测系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224035549U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520400396.2，技术领域涉及：G01R31/26；该实用新型晶圆载入机及晶圆检测系统是由杜振东;陈思乡;侯魁;雷传;王坤设计研发完成，并于2025-03-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆载入机及晶圆检测系统在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体测试技术领域，提供了一种晶圆载入机及晶圆检测系统。该晶圆载入机包括晶圆加载平台、装配结构、俯仰调节组件和偏摆调节组件；装配结构包括支撑座和设于支撑座的调节座，调节座与晶圆加载平台连接；俯仰调节组件连接于调节座，用于驱动调节座相对支撑座在竖直方向上产生偏移量；偏摆调节组件连接于调节座，用于驱动调节座相对支撑座在水平方向上产生偏移量。本申请提供的晶圆载入机能够通过俯仰角度和偏摆角度的调整，提高与晶圆搬运机械手的对位精度，进而提高晶圆放置平稳性和取放搬运时的安全性。
本实用新型晶圆载入机及晶圆检测系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆载入机，其特征在于，包括： 晶圆加载平台10； 装配结构20，包括支撑座22和设于所述支撑座22的调节座21，所述调节座21与所述晶圆加载平台10连接； 俯仰调节组件30，连接于所述调节座21，用于驱动所述调节座21相对所述支撑座22在竖直方向上产生偏移量； 偏摆调节组件40，连接于所述调节座21，用于驱动所述调节座21相对所述支撑座22在水平方向上产生偏移量。
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