苏州奥克思光电科技有限公司王波获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州奥克思光电科技有限公司申请的专利一种工业X射线晶圆检测机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224035552U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520469456.6,技术领域涉及:G01R31/265;该实用新型一种工业X射线晶圆检测机构是由王波;张振伟设计研发完成,并于2025-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种工业X射线晶圆检测机构在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种工业X射线晶圆检测机构,涉及晶圆检测技术领域。本实用新型,包括底框,所述底框的内部固定安装有X射线源,所述底框的顶面设置有位置移动机构,且位置移动机构的活动部设置有平台。本实用新型通过位置移动机构和旋转机构的协同工作,能够实现对晶圆在X、Y方向的移动以及旋转,使得X射线源可以从不同角度对晶圆进行全面检测,从而有效检测晶圆内部电路的短路、断路情况以及焊接质量;通过X射线探测器与X射线源呈对应设置,能够快速接收X射线穿过晶圆后的投影,实现高效的检测过程,通过自动化控制,减少了人工操作的时间和误差,提高了检测的效率和准确性,有助于提升整个生产过程的效率。
本实用新型一种工业X射线晶圆检测机构在权利要求书中公布了:1.一种工业X射线晶圆检测机构,其特征在于,包括底框1,所述底框1的内部固定安装有X射线源2,所述底框1的顶面设置有位置移动机构3,且位置移动机构3的活动部设置有平台4,以经位置移动机构3实现对晶圆在X、Y方向移动,所述平台4上设置有旋转机构5,且旋转机构5的旋转部上固定安装有检测台6,检测台6的顶面设置有两组固定组件7,以经两组固定组件7对晶圆进行固定,所述底框1上通过L侧架固定安装有X射线探测器8。
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