盛合晶微半导体(江阴)有限公司王丞获国家专利权
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龙图腾网获悉盛合晶微半导体(江阴)有限公司申请的专利一种旋涂收集杯获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224035761U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520759610.3，技术领域涉及：G03F7/16；该实用新型一种旋涂收集杯是由王丞;周祖源;刘晓林;徐佳坤;刘先成设计研发完成，并于2025-04-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种旋涂收集杯在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种旋涂收集杯，包括上层收集杯、环形挡板及下层收集杯，其中，上层收集杯包括杯体，杯体围成一收容空间，且杯体设有顶部开口与底部开口，底部开口的边缘上设有第一连接部，杯体的内壁沿周向等间距设置有多个三棱柱，环形挡板位于收容空间内，环形挡板的外缘与杯体连接，下层收集杯包括依次相接的外层侧壁、环形底板与内层侧壁以构成接液凹槽，且外层侧壁的顶部设有与第一连接部相配合的第二连接部，第一连接部与第二连接部相接以连接上层收集杯与下层收集杯。本实用新型的旋涂收集杯能够避免出现光刻胶或显影药液的反溅，进而提高晶圆的良率。
本实用新型一种旋涂收集杯在权利要求书中公布了：1.一种旋涂收集杯，其特征在于，包括： 上层收集杯，包括杯体，所述杯体围成一收容空间，且所述杯体设有顶部开口与底部开口，所述底部开口的边缘上设有第一连接部，所述杯体的内壁沿周向等间距设置有多个三棱柱； 环形挡板，位于所述收容空间内，所述环形挡板的外缘与所述杯体连接； 下层收集杯，包括依次相接的外层侧壁、环形底板与内层侧壁以构成接液凹槽，且所述外层侧壁的顶部设有与所述第一连接部相配合的第二连接部，所述第一连接部与所述第二连接部相接以连接所述上层收集杯与所述下层收集杯。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人盛合晶微半导体(江阴)有限公司，其通讯地址为：214437 江苏省无锡市江阴市东盛西路9号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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