苏州森丸电子技术有限公司宋义获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州森丸电子技术有限公司申请的专利一种改进型光刻胶旋涂胶盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224035762U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520845293.7，技术领域涉及：G03F7/16；该实用新型一种改进型光刻胶旋涂胶盘是由宋义;胡威设计研发完成，并于2025-04-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种改进型光刻胶旋涂胶盘在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种改进型光刻胶旋涂胶盘，属于光刻胶旋涂胶盘技术领域，包括胶盘本体，所述胶盘本体上设有环形凹槽，所述环形凹槽的底面包括第一曲面与第二曲面，所述第一曲面与所述第二曲面呈对称设置，且形成所述环形凹槽内的最高点与最低点，所述环形凹槽内设有出胶口，所述出胶口位于所述环形凹槽的最低点位置处；内盖板，所述内盖板安装于所述胶盘本体上，以放置晶圆进行旋涂；外盖板，所述外盖板安装于所述胶盘本体上，以将废胶遮挡。本实用新型的改进型光刻胶旋涂胶盘实现了对废胶的快速排出，有效提升了废胶的流动性，从而能够避免废胶囤积在旋涂胶盘内，进而避免导胶口位置处出现凝固阻塞现象，保证旋涂胶盘的正常使用。
本实用新型一种改进型光刻胶旋涂胶盘在权利要求书中公布了：1.一种改进型光刻胶旋涂胶盘，其特征在于，包括 胶盘本体10，所述胶盘本体10上设有环形凹槽11，所述环形凹槽11的底面包括第一曲面101与第二曲面102，所述第一曲面101与所述第二曲面102呈对称设置，且形成所述环形凹槽11内的最高点111与最低点112，所述环形凹槽11内设有出胶口12，所述出胶口12位于所述环形凹槽11的最低点112位置处； 内盖板20，所述内盖板20安装于所述胶盘本体10上，以放置晶圆进行旋涂； 外盖板30，所述外盖板30安装于所述胶盘本体10上，以将废胶遮挡。
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