盛合晶微半导体(江阴)有限公司王丞获国家专利权
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龙图腾网获悉盛合晶微半导体(江阴)有限公司申请的专利一种用于涂胶显影机的废液收集装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224035766U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520759599.0，技术领域涉及：G03F7/30；该实用新型一种用于涂胶显影机的废液收集装置是由王丞;周祖源;刘晓林;徐佳坤;刘先成设计研发完成，并于2025-04-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于涂胶显影机的废液收集装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种用于涂胶显影机的废液收集装置，包括第一收集杯、第二收集杯及蜂窝状格栅，第一收集杯包括杯体，杯体围成一收容空间，且杯体设有顶部开口与底部开口，第二收集杯包括依次连接的外层侧壁、环形底板与内层侧壁，杯体的底部与外层侧壁的顶部活动连接，蜂窝状格栅位于收容空间内并覆盖于杯体上。本实用新型的用于涂胶显影机的废液收集装置通过在第一收集杯的杯体上设置蜂窝状格栅，能够有效降低废液反溅的机率，进而减少晶圆的图形缺陷、颗粒污染等问题，从而提高晶圆的良率。
本实用新型一种用于涂胶显影机的废液收集装置在权利要求书中公布了：1.一种用于涂胶显影机的废液收集装置，其特征在于，包括： 第一收集杯及第二收集杯，所述第一收集杯包括杯体，所述杯体围成一收容空间，且所述杯体设有顶部开口与底部开口，所述第二收集杯包括依次相接的外层侧壁、环形底板与内层侧壁，所述外层侧壁的顶部与所述杯体的底部活动连接； 蜂窝状格栅，位于所述收容空间内并覆盖于所述杯体上。
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