深圳市新凯来工业机器有限公司孙宗瑞获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市新凯来工业机器有限公司申请的专利多阳极电子发射装置及电子枪、半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224036338U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520621718.6，技术领域涉及：H01J37/073；该实用新型多阳极电子发射装置及电子枪、半导体设备是由孙宗瑞设计研发完成，并于2025-04-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本多阳极电子发射装置及电子枪、半导体设备在说明书摘要公布了：一种多阳极电子发射装置及电子枪、半导体设备，电子发射装置用于微焦斑电子枪，其包括阴极、栅极和阳极部，阴极用于释放电子。阳极部设置于阴极的下游，阳极部与阴极间隔设置，用于吸引并加速阴极释放的电子以形成电子束。栅极设置于阴极和阳极部之间，栅极接负电压，用于调控阴极表面的电场强度。栅极与阴极之间以及栅极与阳极部之间均形成间隔。阳极部包括多个阳极板，多个阳极板间隔设置并且多个阳极板的电压由上游至下游依次升高，多个阳极板用于形成聚焦电子束的电场。通过设置包括多个阳极板的阳极部，形成能够初步聚焦电子束的电场，改善电子束的发散问题，改善交叉斑的质量，可以形成更符合电子枪使用需求的电场。
本实用新型多阳极电子发射装置及电子枪、半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种多阳极电子发射装置，用于微焦斑电子枪，其特征在于，包括阴极10、栅极20和阳极部30， 所述阴极10用于释放电子， 所述阳极部30设置于所述阴极10的下游，所述阳极部30与所述阴极10间隔设置，用于吸引并加速所述阴极10释放的电子以形成电子束， 所述栅极20设置于所述阴极10和阳极部30之间，所述栅极20接负电压，用于调控所述阴极10表面的电场强度， 所述栅极20与所述阴极10之间以及所述栅极20与所述阳极部30之间均形成间隔， 所述阳极部30包括多个阳极板，所述多个阳极板间隔设置并且所述多个阳极板的电压由上游至下游依次升高，所述多个阳极板用于形成聚焦所述电子束的电场。
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