台积电(中国)有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司李明获国家专利权
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龙图腾网获悉台积电(中国)有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司申请的专利电浆蚀刻装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224036339U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520493862.6，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型电浆蚀刻装置是由李明;黄林洲;赵冉;马霖设计研发完成，并于2025-03-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本电浆蚀刻装置在说明书摘要公布了：电浆蚀刻装置包括腔室、腔室上方的电感线圈、电连接至电感线圈的电浆电源、与腔室气体连通并与电感线圈侧向隔开的泵、及气动净化装置。气动净化装置包含一密封盖。密封盖的形状与泵的一顶部轮缘界定的一开口相匹配。
本实用新型电浆蚀刻装置在权利要求书中公布了：1.一种电浆蚀刻装置，其特征在于，包含： 一腔室； 一电感线圈，在该腔室上方； 一电浆电源，电连接至该电感线圈； 一泵，与该腔室气体连通且与该电感线圈侧向隔开；及 一气动净化装置，包含一密封盖，该密封盖的形状与该泵的一顶部轮缘界定的一开口相匹配。
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