北京北方华创微电子装备有限公司张汉石获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利线圈支架、线圈组件和半导体工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224036340U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520605777.4，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型线圈支架、线圈组件和半导体工艺设备是由张汉石;姚卫杰;王铮;茅兴飞;王伟;陈国动;翟毅豪设计研发完成，并于2025-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本线圈支架、线圈组件和半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本申请公开一种线圈支架、线圈组件和半导体工艺设备，属于半导体加工技术领域。所公开的线圈支架用于半导体工艺设备，所述线圈支架包括承载板，所述承载板上开设有用于安装射频线圈的多个连接孔；所述承载板上还间隔开设有至少一对通风口，用于对所述半导体工艺设备进行控温；所述承载板上还间隔开设有至少两个测量孔，各所述测量孔沿所述承载板的周向间隔设置，且至少一个所述测量孔位于所述通风口和所述承载板的边缘之间。上述方案能够解决相关技术涉及的线圈支架存在功能比较单一的问题。
本实用新型线圈支架、线圈组件和半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种线圈支架，用于半导体工艺设备，其特征在于，所述线圈支架包括承载板100， 所述承载板100上开设有用于安装射频线圈400的多个连接孔190； 所述承载板100上还间隔开设有至少一对通风口184，用于对所述半导体工艺设备进行控温； 所述承载板100上还间隔开设有至少两个测量孔120，各所述测量孔120沿所述承载板100的周向间隔设置，且至少一个所述测量孔120位于所述通风口184和所述承载板100的边缘之间。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京北方华创微电子装备有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励