上海凯世通半导体股份有限公司;北京凯世通半导体有限公司;上海临港凯世通半导体有限公司;合肥凯世通半导体有限公司;凯世通半导体(青岛)有限公司王占柱获国家专利权
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龙图腾网获悉上海凯世通半导体股份有限公司;北京凯世通半导体有限公司;上海临港凯世通半导体有限公司;合肥凯世通半导体有限公司;凯世通半导体(青岛)有限公司申请的专利质量分析仪、以及离子注入设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224036342U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520778923.3,技术领域涉及:H01J37/32;该实用新型质量分析仪、以及离子注入设备是由王占柱;张晓峰;夏世伟;洪俊华;王宇琳;杨立军设计研发完成,并于2025-04-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本质量分析仪、以及离子注入设备在说明书摘要公布了:一种质量分析仪以及离子注入设备,质量分析仪包括:腔体,腔体中具有供离子束流流通的离子通道;束流检测装置,活动安装于离子通道内,束流检测装置包括用于接收离子束流的束流接收组件,在束流检测装置处于检测状态时,束流接收组件封堵离子通道,以使束流接收组件的第一面接收离子束流,实现了在束流中段对束流进行检测的目的,当离子束流检测结果不符合预设要求需要调整束流时,由于质量分析仪前方所需要调整的部件较少,进而降低了对离子束流进行调整的难度,也提高了调整离子束流的效率。
本实用新型质量分析仪、以及离子注入设备在权利要求书中公布了:1.一种质量分析仪,其特征在于,包括: 腔体,所述腔体中具有供离子束流流通的离子通道; 束流检测装置,活动安装于所述离子通道内,所述束流检测装置包括束流接收组件,所述束流接收组件具有用于接收所述离子束流的第一面,在所述束流检测装置处于检测状态时,所述束流接收组件封堵所述离子通道,以使所述束流接收组件的第一面接收所述离子束流。
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