金动力智能科技(深圳)有限公司张勇获国家专利权
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龙图腾网获悉金动力智能科技(深圳)有限公司申请的专利一种固晶机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224037770U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520320235.2,技术领域涉及:H10P72/00;该实用新型一种固晶机构是由张勇;夏欢设计研发完成,并于2025-02-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种固晶机构在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种固晶机构,包括移动组件、拾取组件、校正组件和控制器。拾取组件安装于移动组件上,拾取组件包括用于吸附晶圆的吸附头和用于控制吸附头按压力大小的压力控制件。校正组件安装于移动组件上,校正组件包括用于检测晶圆位置的检测部件和用于调整晶圆角度位置的调整部件。由于设置调整部件和检测部件,若发现晶圆的位置产生偏差,则控制器控制调整部件调整晶圆的角度位置使其摆正。此外,由于设置移动组件和压力控制件,通过压力控制件控制吸附头的压力大小,当吸附头对晶圆的按压力超过预设压力阀值的时候,控制器会控制移动组件和吸附头停止移动,避免压力过大导致晶圆表面破损或者碎裂的问题。
本实用新型一种固晶机构在权利要求书中公布了:1.一种固晶机构,其特征在于,包括: 移动组件; 拾取组件,安装于所述移动组件上,所述拾取组件包括用于吸附晶圆的吸附头和用于控制所述吸附头按压力大小的压力控制件; 校正组件,安装于所述移动组件上,所述校正组件包括用于检测晶圆位置的检测部件和用于调整晶圆角度位置的调整部件; 控制器,分别与所述移动组件、压力控制件、检测部件和调整部件电连接。
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