江苏微导纳米科技股份有限公司嵇晨阳获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利晶圆缓存腔体和晶圆缓存装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224037775U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520575065.2，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型晶圆缓存腔体和晶圆缓存装置是由嵇晨阳;吴刘兴;石帅设计研发完成，并于2025-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆缓存腔体和晶圆缓存装置在说明书摘要公布了：一种晶圆缓存腔体和晶圆缓存装置。晶圆缓存腔体包括：腔本体，腔本体内设置有晶圆支撑组件，晶圆支撑组件包括多个支撑片，用于在晶圆的边缘区域共同支撑所述晶圆；以及盖板，密封设置在腔本体上方，盖板上设置有透明观察窗，透明观察窗与部分或全部支撑片一一对应设置。根据上述方案，可以从透明观察窗方便地观察到晶圆缓存腔体内部的晶圆状态和位置，既可以实时地了解到晶圆的状态，也可以在真空机械手取放晶圆的时候避免偏置晶圆甚至损坏晶圆。
本实用新型晶圆缓存腔体和晶圆缓存装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆缓存腔体，其特征在于，包括： 腔本体，所述腔本体内设置有晶圆支撑组件，所述晶圆支撑组件包括多个支撑片，用于在晶圆的边缘区域共同支撑所述晶圆；以及 盖板，密封设置在所述腔本体上方，其中，所述盖板上设置有透明观察窗，所述透明观察窗与部分或全部所述支撑片一一对应设置。
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