深圳妙芯微电子科技有限公司刘敏瑞获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳妙芯微电子科技有限公司申请的专利半导体材料退火设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224037777U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520611284.1，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型半导体材料退火设备是由刘敏瑞设计研发完成，并于2025-04-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体材料退火设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种半导体材料退火设备，包括：退火炉，退火炉设置有出气口；吸气机构，吸气机构包括：吸气管、出气管与风压组件，吸气管的第一端与出气口连接，吸气管的第二端与风压组件连接，出气管的第一端与风压组件连接；净化机构，净化机构设置有腔体与进气口，进气口与腔体导通，进气口与出气管的第二端连接，腔体盛放有气体净化物料。在半导体退火时，半导体会产生废气，此时吸气机构的分压组件通过吸气管使退火炉产生负压，废气被吸入到吸气管，再经过风压组件与出气管通入到净化机构，废气经过进气口通入到腔体，腔体内的气体净化物料对废气进行净化处理，从而避免了废气直接被排放到外界，导致环境污染。
本实用新型半导体材料退火设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体材料退火设备，其特征在于，包括： 退火炉1，所述退火炉1设置有出气口； 吸气机构2，所述吸气机构2包括：吸气管21、出气管22与风压组件23，所述吸气管21的第一端与所述出气口连接，所述吸气管21的第二端与所述风压组件23连接，所述出气管22的第一端与所述风压组件23连接； 净化机构3，所述净化机构3设置有腔体与进气口321，所述进气口321与腔体导通，所述进气口321与所述出气管22的第二端连接，所述腔体盛放有气体净化物料。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳妙芯微电子科技有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市南山区粤海街道麻岭社区麻雀岭工业区中钢大厦M-7栋604；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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