苏州菜根集成电路有限公司张云获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州菜根集成电路有限公司申请的专利一种晶圆贴膜装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224037779U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520770756.8,技术领域涉及:H10P72/00;该实用新型一种晶圆贴膜装置是由张云设计研发完成,并于2025-04-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆贴膜装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及晶圆生产领域,具体为一种晶圆贴膜装置,包括工作台,所述工作台的上方固定连接有L形架,所述L形架的外壁安装有贴膜机构,所述工作台的上端面转动连接有转盘,所述转盘的上端面设置有两个固定机构;所述贴膜机构包括安装于L形架上端面的电推杆,所述电推杆的输出端延伸至L形架的下方且固定连接有第一安装板,所述第一安装板的下侧通过支架安装有放卷辊和收卷辊,所述支架的外壁安装有输出端与收卷辊固定连接的第二伺服电机,通过电推杆驱动放卷辊、压板和环形切刀的协同动作,实现晶圆贴膜、压紧和切割的一体化操作,显著提升贴膜效率,转盘的双固定盘设计支持晶圆的交替上料与贴膜,减少设备空闲时间,进一步优化生产效率。
本实用新型一种晶圆贴膜装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆贴膜装置,包括工作台1,其特征在于:所述工作台1的上方固定连接有L形架2,所述L形架2的外壁安装有贴膜机构,所述工作台1的上端面转动连接有转盘3,所述转盘3的上端面设置有两个固定机构; 所述贴膜机构包括安装于L形架2上端面的电推杆11,所述电推杆11的输出端延伸至L形架2的下方且固定连接有第一安装板12,所述第一安装板12的下侧通过支架安装有放卷辊13和收卷辊14,所述支架的外壁安装有输出端与收卷辊14固定连接的第二伺服电机15,所述第一安装板12的下端面通过连杆固定连接有第二安装板16,所述第二安装板16的下端面固定连接有环形切刀17,所述第二安装板16的下侧设置有压板18,所述压板18的上端面固定连接有两个第二限位杆19,两个所述第二限位杆19的外壁均套接有位于压板18与第二安装板16之间的第二弹簧20。
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