上海大族富创得科技股份有限公司陈垒获国家专利权
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龙图腾网获悉上海大族富创得科技股份有限公司申请的专利一种晶圆换面机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224037810U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520413542.5,技术领域涉及:H10P72/76;该实用新型一种晶圆换面机构是由陈垒;付志宇;吴沃祖;秦承伟设计研发完成,并于2025-03-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆换面机构在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体技术领域,尤其是指一种晶圆换面机构,包括第一支座、第二支座、用于带动第一支座转动的第一转动单元,及用于带动第二支座转动的第二转动单元,所述第一支座对称设置有若干个用于放置第一晶圆的第一容置槽,所述第二支座对称设置有若干个用于放置第二晶圆的第二容置槽;当需要将第一支座上的第一晶圆换面时,所述第一晶圆的一侧与第二晶圆的一侧对应,所述第一转动单元带动第一支座转动,以使得第一晶圆的另一侧与第二晶圆的一侧对应;本实用新型能够有效防止晶圆的晶面被污染,能够批量实现晶圆的清洗,保证晶圆产品的质量。
本实用新型一种晶圆换面机构在权利要求书中公布了:1.一种晶圆换面机构,其特征在于,包括第一支座1、第二支座2、用于带动第一支座1转动的第一转动单元3,及用于带动第二支座2转动的第二转动单元4,所述第一支座1对称设置有若干个用于放置第一晶圆01的第一容置槽101,所述第二支座2对称设置有若干个用于放置第二晶圆02的第二容置槽201; 当需要将第一支座1上的第一晶圆01换面时,所述第一晶圆01的一侧与第二晶圆02的一侧对应,所述第一转动单元3带动第一支座1转动,以使得第一晶圆01的另一侧与第二晶圆02的一侧对应。
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