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龙图腾网获悉三星显示有限公司申请的专利激光晶化装置的监控系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111293053B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201911129165.8，技术领域涉及：H10P95/00；该发明授权激光晶化装置的监控系统是由崔京植;金志桓;朴京镐;孙明石;申东勋;刘光炫;李洪鲁设计研发完成，并于2019-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本激光晶化装置的监控系统在说明书摘要公布了：根据本发明一实施例的一种激光晶化装置的监控系统包括：工作台，用于支撑基板；激光生成部，向所述基板提供激光束；散射光束检测部，检测出在所述基板上被散射的所述激光束的散射光束；及，控制部，接收并存储被检测出的所述散射光束的强度相关的数据，基于此来修正所述激光生成部的所述激光束的强度。

本发明授权激光晶化装置的监控系统在权利要求书中公布了：1.一种激光晶化装置的监控系统，其中，包括： 工作台，用于支撑基板； 激光生成部，向所述基板提供激光束； 腔室，所述腔室在所述激光束通过的位置形成有退火窗，所述腔室是密封的盒状； 镜子，设置于所述腔室内，反射在所述基板上散射的所述激光束的散射光束； 透镜，设置于所述腔室内，从所述镜子反射的所述散射光束通过所述透镜； 散射光束检测部，检测通过所述透镜的所述散射光束；及， 控制部，接收并存储被检测的所述散射光束的强度相关的数据，基于所述数据来修正所述激光生成部提供的所述激光束的强度， 所述激光束以具有入射角的形式入射至所述基板上，并射出为具有反射角的反射光束及具有散射角的散射光束， 所述散射光束的所述散射角大于所述反射角， 所述镜子配置于所述散射光束的路径， 所述基板上形成有非晶硅薄膜， 所述非晶硅薄膜被所述激光束晶化而形成多晶硅薄膜， 所述基板设置于由第一方向及垂直于所述第一方向的第二方向构成的平面上，所述工作台使所述基板向所述第一方向移动， 所述激光束为在所述第二方向上长的四角形形态的直线束， 所述散射光束检测部沿着所述第二方向设置有多个，以沿着所述第二方向检测出在多个位置的散射光束， 所述散射角和所述入射角满足下式： d*sina3-sina1＝mλ 其中，d为在所述多晶硅薄膜上形成的突起与突起之间的目标距离，λ为所述激光束的波长，a1为所述入射角，a3为所述散射角。

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