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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利液处理装置和液处理装置的液检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112485970B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010921031.6，技术领域涉及：G03F7/16；该发明授权液处理装置和液处理装置的液检测方法是由桾本裕一朗;羽山隆史;铃木秀启设计研发完成，并于2020-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本液处理装置和液处理装置的液检测方法在说明书摘要公布了：本发明提供液处理装置和液处理装置的液检测方法。液处理装置包括：能够载置基片的载置部；对载置于上述载置部的上述基片供给处理液以进行处理的喷嘴；用于拍摄上述喷嘴以获取图像数据的拍摄部；和检测部，其基于多个上述图像数据来检测液面，该多个上述图像数据是在不从上述喷嘴供给上述处理液的期间内的彼此不同的时刻获得的，上述液面由设置于上述喷嘴内的上述处理液的流路中的该处理液或者该处理液以外的液体形成。本发明在对基片进行液处理时，能够可靠性高地防止处理异常。

本发明授权液处理装置和液处理装置的液检测方法在权利要求书中公布了：1.一种液处理装置，其特征在于，包括： 能够载置基片的载置部； 由处理液供给部对载置于所述载置部的所述基片供给处理液以进行处理的喷嘴； 用于保持所述喷嘴的喷嘴保持部； 与所述喷嘴保持部连接的三层管，所述三层管从内侧向外侧包括内管、中管和外管； 用于使液面振动的振动施加部，其中，所述液面由设置于所述喷嘴内的所述处理液的流路中的该处理液或者该处理液以外的液体形成； 用于拍摄所述喷嘴以获取图像数据的拍摄部；和 检测部，其使用多个所述图像数据，利用所述液面的振动变得比由所述振动施加部产生的所述喷嘴的振动大的性质，基于所述液面的振动，来检测所述液面，该多个所述图像数据是在不利用所述处理液供给部从所述喷嘴供给所述处理液的期间内的彼此不同的时刻获得的， 所述三层管的所述外管与所述中管之间的第一流路和所述中管与所述内管之间的第二流路在所述喷嘴保持部的一侧相连，在另一侧经由第三流路相连，在所述第三流路设置有泵，所述第一流路、所述第二流路、所述第三流路构成供流体循环的循环通路， 所述振动施加部由所述第一流路、所述第二流路、所述第三流路和所述泵构成，所述泵能够周期地进行的吸引和释放以使得所述流体在所述循环通路中脉动，由此所述喷嘴在上下方向上周期地振动。

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