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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利基板处理装置及基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115332048B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210367853.3，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权基板处理装置及基板处理方法是由李相旼;朴舟辑;林义相设计研发完成，并于2022-04-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板处理装置及基板处理方法在说明书摘要公布了：基板处理装置可包括上部腔体、与所述上部腔体结合且从所述上部腔体分离的下部腔体、以及向上方及下方移动所述下部腔体的至少一个驱动部件。所述至少一个驱动部件可包括支撑所述下部腔体的支撑要素、向所述上方及下方移动所述下部腔体及所述支撑要素的第一驱动要素、向所述上方及下方移动所述下部腔体、所述支撑要素及所述第一驱动要素且相邻于所述第一驱动要素配置的第二驱动要素、以及连接所述第一驱动要素与所述第二驱动要素的连接要素。所述上部腔体与所述下部腔体结合时所述上部腔体与所述下部腔体之间可提供处理空间。

本发明授权基板处理装置及基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于，包括： 上部腔体； 下部腔体，与所述上部腔体结合，并且从所述上部腔体分离；以及 至少一个驱动部件，向上方及下方移动所述下部腔体； 其中，所述至少一个驱动部件包括： 支撑要素，支撑所述下部腔体； 第一驱动要素，向所述上方及下方移动所述下部腔体及所述支撑要素； 第二驱动要素，向所述上方及下方移动所述下部腔体、所述支撑要素及所述第一驱动要素，相邻于所述第一驱动要素配置；以及 连接要素，连接所述第一驱动要素与所述第二驱动要素， 所述上部腔体与所述下部腔体结合时所述上部腔体与所述下部腔体之间提供处理空间， 其中，所述支撑要素为平坦的板状结构， 所述第一驱动要素包括第一驱动轴及第一主体，所述第二驱动要素包括第二驱动轴及第二主体，所述第一驱动要素及第二驱动要素在平行于所述支撑要素的水平方向为平行配置，并且在垂直于所述支撑要素的垂直方向所述第二驱动要素配置于所述第一驱动要素的下方， 所述第一驱动要素的所述第一驱动轴连接于所述支撑要素的底面的一侧； 所述连接要素包括水平地连接于所述第一主体的底面的第一部分、水平地连接于所述第二驱动轴的上面的第二部分、以及垂直地连接所述第一部分与所述第二部分的中央部分，以将所述第一驱动要素与所述第二驱动要素连接起来，使得所述连接要素的所述第一部分和所述第二部分为相对于所述支撑要素水平地配置，且所述连接要素的所述中央部分为相对于所述支撑要素垂直地配置。

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