上海赛瑾精密科技有限公司伏立猛获国家专利权
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龙图腾网获悉上海赛瑾精密科技有限公司申请的专利一种光刻机WS单元安装调整XY丝杆同心度工具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224051246U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520743361.9，技术领域涉及：G01B5/252；该实用新型一种光刻机WS单元安装调整XY丝杆同心度工具是由伏立猛;赵建光;席晓明设计研发完成，并于2025-04-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻机WS单元安装调整XY丝杆同心度工具在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种光刻机WS单元安装调整XY丝杆同心度工具，包括：安装板，所述安装板的上部设置有第一连接孔且第一连接孔呈对称设置，所述安装板的一端设置有第一安装架且第一安装架的内部设置有第二连接孔和第三连接孔，所述第一安装架的内侧设置有第一夹槽且第一夹槽的内部设置有第一百分表。本实用新型将安装板安装在光刻机的WS单元上，移动WS单元，使触头在丝杆移动，百分表有XY方向上的读数，记录数据，调整丝杆一端，使百分表的XY的读数在10um以内，使用工具后，解决在Nikon光刻机WS丝杆同心度安装过程中，凭借个人经验安装的问题，其调整丝杆同心度精度可视化，同时提高设备精度，能够更好提高产品工艺。
本实用新型一种光刻机WS单元安装调整XY丝杆同心度工具在权利要求书中公布了：1.一种光刻机WS单元安装调整XY丝杆同心度工具，其特征在于：包括：安装板1，所述安装板1的上部设置有第一连接孔2且第一连接孔2呈对称设置，所述安装板1的一端设置有第一安装架3且第一安装架3的内部设置有第二连接孔16和第三连接孔17，所述第一安装架3的内侧设置有第一夹槽4且第一夹槽4的内部设置有第一百分表5，所述安装板1的侧面设置有第二安装架12且第二安装架12的内部设置有第四连接孔14，所述第二安装架12通过螺栓贯穿第三连接孔17和第四连接孔14与第一安装架3之间固定连接，所述第二安装架12的内部设置有第二夹槽10且第二夹槽10的内部设置有第二百分表11，所述第一百分表5和第二百分表11结构相同且均在下部设置有连接柱7，所述连接柱7与第一夹槽4和第二夹槽10之间相互嵌合，所述连接柱7的内部设置有调节杆8且调节杆8的下部设置有触头9，所述触头9与XY丝杆之间相互接触。
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