无锡海法工业测控设备有限公司姚胜军获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡海法工业测控设备有限公司申请的专利半导体微孔检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224051264U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520965837.3，技术领域涉及：G01B11/00；该实用新型半导体微孔检测装置是由姚胜军;刘正;朱志萍;卞可鹏设计研发完成，并于2025-05-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体微孔检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种半导体微孔检测装置，包括工作台、水平移转装置和视觉检测装置。水平移转装置设有移载台，其上配置多个置料台用于放置半导体微孔板，实现批量化检测，显著提高效率。水平移转装置精确移动置料台于上下料工位与检测工位之间。视觉检测装置包含支撑柱、连接板、横向移转装置及视觉检测组件。视觉检测组件配备工业相机、环形光源及图像处理模块，可高精度测量微孔位置和直径。图像处理模块包括孔位计算单元、孔径分析单元、误差对比单元和告警单元，确保检测的准确性和实时反馈。该装置通过自动化、高精度检测，有效降低了次品率，减少了因微孔质量问题导致的产品故障风险，非常适合高端半导体制造需求。
本实用新型半导体微孔检测装置在权利要求书中公布了：1.半导体微孔检测装置，包括工作台、设置在所述工作台上的水平移转装置和视觉检测装置，其特征在于：所述水平移转装置上设有移载台，所述移载台上设有若干个用于放置半导体微孔板的置料台；所述水平移转装置用于将所述置料台上的半导体微孔板在检测工位和上下料工位之间移转； 所述视觉检测装置包括对称设置在所述水平移转装置两侧的支撑柱、连接两个所述支撑柱且横跨在所述水平移转装置上方的连接板、设置在所述连接板上的横向移转装置、设置在所述横向移转装置上的视觉检测组件。
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