东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司张庆阳获国家专利权
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龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利晶圆静电处理系统及半导体检测设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224054734U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520024943.1，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型晶圆静电处理系统及半导体检测设备是由张庆阳;柯逸臻设计研发完成，并于2025-01-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆静电处理系统及半导体检测设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆静电处理系统及半导体检测设备。晶圆静电处理系统包括放电探针、采集探针、电击穿模块及信号采集模块。电击穿模块与放电探针电连通，以通过放电探针电击穿被处理晶圆表面的绝缘层。信号采集模块与放电探针和采集探针同时电连通，以采集放电探针和采集探针之间的电信号，进而确定被处理晶圆表面绝缘层的击穿状态。在电击穿模块进行击穿工作的同时，实时进行放电探针和采集探针之间的电信号采样，以实时确定被处理晶圆表面绝缘层的击穿状态，可及时得知被处理晶圆表面是否被击穿，对击穿的过程和效果能实时掌握；同时控制电击穿模块工作或停止，进而使得击穿过程和静电释放过程可控。
本实用新型晶圆静电处理系统及半导体检测设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆静电处理系统，其特征在于，包括： 放电探针，所述放电探针配置成在被处理晶圆的表面的一个位置处与所述被处理晶圆的表面接触； 电击穿模块，所述电击穿模块与所述放电探针电连接，以通过所述放电探针电击所述被处理晶圆； 采集探针，所述采集探针配置成在被处理晶圆的表面的另一个位置处与所述被处理晶圆的表面接触； 信号采集模块，所述信号采集模块与所述放电探针和所述采集探针均电连接，所述信号采集模块配置成采集所述放电探针上的电信号，或者采集所述采集探针上的电信号，或者采集所述放电探针和所述采集探针之间的电信号。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区经海四路156号院12号楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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