武汉精测电子集团股份有限公司;武汉精立电子技术有限公司吴高乾获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉精测电子集团股份有限公司;武汉精立电子技术有限公司申请的专利一种通用性晶圆预校准装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224054760U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520601442.5，技术领域涉及：H10P72/50；该实用新型一种通用性晶圆预校准装置是由吴高乾;王进文设计研发完成，并于2025-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种通用性晶圆预校准装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种通用性晶圆预校准装置，包括载台，用于放置待预校准的晶圆；定位组件，与载台驱动连接，用于根据晶圆的尺寸和形状驱动载台进行位置调整；光学检测组件，设置在定位组件的一侧且朝向载台和晶圆布设，用于获取晶圆的边缘图像信息并生成图像信号；控制单元，与光学检测组件和定位组件电连接，用于接收光学检测组件生成的图像信号，并根据图像信号向定位组件发送控制信号，以驱动定位组件带动晶圆移动，实现晶圆的预校准动作。该通用性晶圆预校准装置能够兼容多种规格的晶圆，同时具备高效、高精度和强适应性的特点，满足半导体行业日益增长的生产需求。
本实用新型一种通用性晶圆预校准装置在权利要求书中公布了：1.一种通用性晶圆预校准装置，其特征在于，包括： 载台1，用于放置待预校准的晶圆5； 定位组件2，与所述载台1驱动连接，用于根据所述晶圆5的尺寸和形状驱动所述载台1进行位置调整； 光学检测组件3，设置在所述定位组件2的一侧且朝向所述载台1和所述晶圆5布设，用于获取所述晶圆5的边缘图像信息并生成图像信号； 控制单元，与所述光学检测组件3和所述定位组件2电连接，用于接收所述光学检测组件3生成的图像信号，并根据所述图像信号向所述定位组件2发送控制信号，以驱动所述定位组件2带动所述晶圆5移动，实现所述晶圆5的预校准动作。
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