上海浚洁半导体科技有限公司李凤娟获国家专利权
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龙图腾网获悉上海浚洁半导体科技有限公司申请的专利一种晶圆夹具及搬运机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224054765U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520341184.1，技术领域涉及：H10P72/76；该实用新型一种晶圆夹具及搬运机构是由李凤娟设计研发完成，并于2025-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆夹具及搬运机构在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶圆夹具及搬运机构；晶圆夹具，包括顶板，所述顶板的下方固定架设有底板，所述底板的底部呈圆周阵列有摆臂组件，所述摆臂组件的底端内侧设置有夹爪，所述底板的内部设置有夹紧调节机构，所述顶板的底部设置有驱动所述夹紧调节机构上下移动的伸缩气缸；所述夹紧调节机构具有与所述伸缩气缸的活塞杆端部转动连接的调节螺栓，所述调节螺栓的外侧螺纹装配有驱动块；所述摆臂组件具有与所述驱动块的外侧相铰接的连杆；本实用新型能够替代人工对晶圆进行夹取，并且夹爪移动范围可调节，以匹配不同外径晶圆加工使用。
本实用新型一种晶圆夹具及搬运机构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆夹具，其特征在于：包括顶板，所述顶板的下方固定架设有底板，所述底板的底部呈圆周阵列有摆臂组件，所述摆臂组件的底端内侧设置有夹爪，所述底板的内部设置有夹紧调节机构，所述顶板的底部设置有驱动所述夹紧调节机构上下移动的伸缩气缸； 所述夹紧调节机构具有与所述伸缩气缸的活塞杆端部转动连接的调节螺栓，所述调节螺栓的外侧螺纹装配有驱动块；所述摆臂组件具有与所述驱动块的外侧相铰接的连杆。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海浚洁半导体科技有限公司，其通讯地址为：201800 上海市嘉定区安亭镇嘉松北路6988号1幢1层105室J5523；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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