株式会社尼康西野秀昭获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社尼康申请的专利台装置、曝光装置、平板显示器制造方法及元件制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115803684B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080101898.5，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权台装置、曝光装置、平板显示器制造方法及元件制造方法是由西野秀昭;原笃史设计研发完成，并于2020-06-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本台装置、曝光装置、平板显示器制造方法及元件制造方法在说明书摘要公布了：提高台的定位精度的台装置、曝光装置、平板显示器制造方法及元件制造方法。台装置包括：移动体，具有支撑物体的第一支撑面；支撑部，具有规定的厚度，支撑所述移动体且能够进行弹性变形；支撑装置，具有支撑所述支撑部的第二支撑面；以及驱动部，使所述移动体移动以变更所述第一支撑面与所述第二支撑面所成的角度，伴随着基于所述驱动部的所述角度的变更，所述支撑部以所述第一支撑面与所述第二支撑面的间隔窄的一侧的所述规定的厚度变薄、且所述第一支撑面与所述第二支撑面的间隔宽的另一侧的所述规定的厚度变厚的方式进行弹性变形来支撑所述移动体。
本发明授权台装置、曝光装置、平板显示器制造方法及元件制造方法在权利要求书中公布了：1.一种台装置，包括： 移动体，具有支撑物体的第一支撑面； 支撑部，具有规定的厚度，接触支撑所述移动体且能够进行弹性变形； 支撑装置，具有支撑所述支撑部的第二支撑面； 第一驱动部，使被所述支撑部接触支撑的所述移动体相对于所述支撑装置进行相对移动；以及 第二驱动部，使所述移动体移动以变更所述第一支撑面与所述第二支撑面所成的角度， 所述支撑部未与所述第一驱动部连结，伴随着基于所述第二驱动部的所述角度的变更，所述支撑部以所述第一支撑面与所述第二支撑面的间隔窄的一侧的所述规定的厚度变薄、且所述第一支撑面与所述第二支撑面的间隔宽的另一侧的所述规定的厚度变厚的方式进行弹性变形来支撑所述移动体。
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