南亚科技股份有限公司艾子杰获国家专利权
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龙图腾网获悉南亚科技股份有限公司申请的专利互连结构及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115939056B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210699862.2,技术领域涉及:H10W20/42;该发明授权互连结构及其制备方法是由艾子杰设计研发完成,并于2022-06-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本互连结构及其制备方法在说明书摘要公布了:本公开提供一种互连结构及其制备方法。该互连结构包括一第一介电层、该第一介电层中的一第一导电通孔、以及设置在该第一介电层上并与该第一导电通孔电连接的一第一金属线。该第一金属线的至少一部分暴露于一第一气隙中。
本发明授权互连结构及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种互连结构,包括: 一第一介电层; 一第一导电通孔,设置在该第一介电层中;以及 一第一金属线,设置在该第一介电层上并与该第一导电通孔电连接; 其中该第一金属线的侧壁的至少一部分暴露于一第一气隙中; 设置在该第一金属线上的一第二介电层,并在该第一气隙上方定义一第二气隙; 穿透该第二介电层并与该第一金属线电连接的一第二导电通孔; 设置在该第二介电层上并覆盖该第二气隙的一第三介电层; 设置在该第三介电层上并与该第二导电通孔电连接的一第三金属线,其中该第三金属线的侧壁的至少一部分暴露于一第三气隙中。
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