上海精测半导体技术有限公司罗浒获国家专利权
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龙图腾网获悉上海精测半导体技术有限公司申请的专利静电偏转器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116053103B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211630794.0，技术领域涉及：H01J37/147；该发明授权静电偏转器是由罗浒;屈俊健设计研发完成，并于2022-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本静电偏转器在说明书摘要公布了：本公开提供了一种静电偏转器，该静电偏转器包括偶数个电极组，每个电极组包括m个电极和导电连接部，m个电极连接于导电连接部，m为大于或等于2的整数。该静电偏转器能够简化导线连接，可以降低因导线虚焊、虚接或折断而导致静电偏转器失灵的风险，提高可靠性。
本发明授权静电偏转器在权利要求书中公布了：1.一种静电偏转器，包括偶数个电极组，用于偏转带电粒子束，其特征在于，每个所述电极组包括m个电极和导电连接部，所述m个电极连接于所述导电连接部，m为大于或等于2的整数；所述导电连接部包括环形件；所述m个电极沿所述环形件的周向间隔设置，所述环形件与所述m个电极同心；在每个所述电极组中，所述m个电极沿所述环形件的轴向方向凸出于所述环形件形成m个凸起，相邻的所述凸起之间形成有凹槽；在每个所述电极组中，m-1个所述凸起的外径均小于所述环形件的内径，1个所述凸起的外径等于所述环形件的外径。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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