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龙图腾网获悉深圳市恒运昌真空技术有限公司申请的专利微波等离子体测试装置、系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116223893B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310085190.0，技术领域涉及：G01R19/25；该发明授权微波等离子体测试装置、系统及方法是由乐卫平;黄永镇;郭蕾设计研发完成，并于2023-01-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本微波等离子体测试装置、系统及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种微波等离子体测试装置、系统及方法。微波等离子体测试装置包括依次连接的静电探针、探针电流电压测量模块、控制模块，静电探针和控制模块之间还连接有扫描电源产生模块；控制模块生成测试信号，扫描电源产生模块根据测试信号生成扫描电压。以驱动静电探针进行工作；静电探针在工作时采集待测试微波等离子体在扫描电压下的电流电压信号；探针电流电压测量模块对电流电压信号进行处理，得到处理后的电流电压信号；控制模块对处理后的电流电压信号进行计算，得到待测试微波等离子体的测试参数，通过静电探针采集电流电压信号，可快速准确的对微波等离子体进行测试，提高测试的准确性和效果。

本发明授权微波等离子体测试装置、系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种微波等离子体测试装置，其特征在于，所述微波等离子体测试装置包括：依次连接的静电探针、探针电流电压测量模块、控制模块，所述静电探针还与待测试微波等离子体连接，所述静电探针和所述控制模块之间还连接有扫描电源产生模块； 所述控制模块，用于生成测试信号，并将所述测试信号传输至所述扫描电源产生模块； 所述扫描电源产生模块，用于根据所述测试信号生成扫描电压，并根据所述扫描电压驱动所述静电探针进行工作以及将所述扫描电压传输至所述待测试微波等离子体； 所述静电探针，用于在工作时采集所述待测试微波等离子体在所述扫描电压下的电流电压信号，并将所述电流电压信号传输至所述探针电流电压测量模块； 所述探针电流电压测量模块，用于对所述电流电压信号进行处理，得到处理后的电流电压信号，并将处理后的电流电压信号传输至所述控制模块； 所述控制模块，还用于对所述处理后的电流电压信号进行计算，得到待测试微波等离子体的测试参数； 所述探针电流电压测量模块包括：依次连接的取样电路、信号调理电路以及光电隔离电路； 所述取样电路，用于接收所述电流电压信号，并对所述电流电压信号进行处理，得到参考电流电压信号； 所述信号调理电路，用于对所述参考电流电压信号进行信号转换，得到转换电流电压信号； 所述光电隔离电路，用于对所述转换电流电压信号进行隔离，得到处理后的电流电压信号； 所述取样电路包括：取样电阻、第四电阻以及第五电阻，所述信号调理电路包括：第一信号调理电路以及第二信号调理电路，所述光电隔离电路包括第一光电隔离电路以及第二光电隔离电路； 所述取样电阻的第一端分别与所述静电探针以及所述第一信号调理电路连接，所述取样电阻的第二端与所述第一信号调理电路连接，所述第一信号调理电路还与所述第一光电隔离电路连接； 所述第四电阻的第一端与所述静电探针连接，所述第四电阻的第二端分别与所述第二信号调理电路以及所述第五电阻的第一端连接，所述第五电阻的第二端接地，所述第二信号调理电路还与所述第二光电隔离电路连接。

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