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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利一种EUV光源靶滴的运动形态控制存储装置及控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116273535B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310273224.9，技术领域涉及：B05B5/053；该发明授权一种EUV光源靶滴的运动形态控制存储装置及控制方法是由胡亮;杨宏辉;姜学斌;方言燊;佘垒;苏芮设计研发完成，并于2023-03-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种EUV光源靶滴的运动形态控制存储装置及控制方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种EUV光源靶滴的运动形态控制存储装置及控制方法。锡靶滴喷射腔体连通液滴存储组件，液滴感应带电组件安装在喷嘴和液滴存储组件的连接处；液滴偏置组件安装在液滴存储组件内。方法包括：通过液滴偏置组件控制装置处于液滴存储模式、液滴使用模式和液滴频率变换模式下，实现带电液滴的存储、使用及频率变换。本发明实现了对靶滴带电后的缓冲与状态调整，实现对靶滴的暂时存取，更加精确地调整液滴的空间位置和运动状态，实现原材料加热期间靶滴的不间断供应及停机后的快速起动。实现液滴频率变换，可满足因低频液滴发生缺陷而实现高频液滴的发生，提高光源能量转换效率和输出功率，降低碎片污染，提高光源系统可靠性。

本发明授权一种EUV光源靶滴的运动形态控制存储装置及控制方法在权利要求书中公布了：1.一种EUV光源靶滴的运动形态控制存储装置，其特征在于：包括液滴感应带电组件1、液滴偏置组件2、液滴存储组件和锡靶滴喷射腔体7，液滴存储组件位于锡靶滴喷射腔体7的正下方，锡靶滴喷射腔体7底部中心的喷嘴6连接液滴存储组件的顶端并连通液滴存储组件，液滴感应带电组件1安装在锡靶滴喷射腔体7的喷嘴6和液滴存储组件的连接处；液滴偏置组件2安装在液滴存储组件内；锡靶滴喷射腔体7和液滴感应带电组件1分别电连接单通道直流电源，液滴偏置组件2电连接若干双通道直流电源； 所述的液滴存储组件包括环形通道体3、入口段直线通道体4和出口段直线通道体5，环形通道体3为空心环状圆柱体结构，环形通道体3的中心轴线沿水平方向，环形通道体3内部沿自身的中心轴线方向均匀划分为一级环形通道301、二级环形通道302和三级环形通道303；入口段直线通道体4和出口段直线通道体5均为空心方形管状结构，入口段直线通道体4和出口段直线通道体5竖直布置在环形通道体3的同一侧并连通环形通道体3，出口段直线通道体5的上端连通并正对环形通道体3的三级环形通道303，出口段直线通道体5的下端连通外部，入口段直线通道体4的下端连通并正对环形通道体3的一级环形通道301，入口段直线通道体4的上端连接锡靶滴喷射腔体7的喷嘴6进而连通锡靶滴喷射腔体7；入口段直线通道体4和出口段直线通道体5的横截面尺寸和一级环形通道301的通道截面尺寸相同；入口段直线通道体4和出口段直线通道体5远离环形通道体3中心的一侧面均和环形通道体3的外侧环面相切，入口段直线通道体4和出口段直线通道体5靠近环形通道体3中心的一侧面均和环形通道体3的内侧环面相切；液滴偏置组件2安装在环形通道体3的底部内；环形通道体3处沿自身的轴线方向产生均匀的轴向磁场，磁场方向为自一级环形通道301至三级环形通道303的方向。

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