上海华力集成电路制造有限公司王传龙获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉上海华力集成电路制造有限公司申请的专利一种监控套刻标记工艺质量的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116339085B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310021636.3，技术领域涉及：G03F9/00；该发明授权一种监控套刻标记工艺质量的方法是由王传龙;何洪波;刘必秋设计研发完成，并于2023-01-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种监控套刻标记工艺质量的方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种监控套刻标记工艺质量的方法，提供设计标记；依据设计标记，将设计标记制作在晶圆上，得到套刻标记；扫描套刻标记，并接收扫描到的信号，生成套刻标记的照片；基于照片提取套刻标记的轮廓的CD；将设计标记的轮廓的CD与套刻标记的轮廓的CD进行叠层对比，以量测二者之间的差别；或将套刻标记的轮廓的不同位置的CD相互比对，以量测不同位置的CD差别。本发明采用电子显微镜扫描拍摄到的图片进行抽取边缘CD，与设计后的标记叠层或不同位置标记的轮廓CD叠层，如有差异，可以及时发现异常。如果实际标记出现偏移则会反映到套刻量测结果上，提前对工艺过程及量测结果进行初步判断，避免出现错误的套刻反馈，为工艺改善提供指导。
本发明授权一种监控套刻标记工艺质量的方法在权利要求书中公布了：1.一种监控套刻标记工艺质量的方法，其特征在于，至少包括： 步骤一、提供设计标记；依据所述设计标记，将所述设计标记制作在晶圆上，得到套刻标记； 步骤二、扫描所述套刻标记，并接收扫描到的信号，生成所述套刻标记的照片； 步骤三、基于所述照片提取所述套刻标记的轮廓的CD； 步骤四、将所述设计标记的轮廓的CD与所述套刻标记的轮廓的CD进行叠层对比，以量测二者之间的差别；或将所述套刻标记的轮廓的不同位置的CD相互比对，以量测不同位置的CD差别。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海华力集成电路制造有限公司，其通讯地址为：201203 上海市浦东新区康桥东路298号1幢1060室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励