安徽元琛材料研究设计院有限公司蒯贇获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽元琛材料研究设计院有限公司申请的专利一种薄膜一氧化氮传感器及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116359290B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310318819.1,技术领域涉及:G01N27/12;该发明授权一种薄膜一氧化氮传感器及其制备方法是由蒯贇;沈光宇;叶晓冬设计研发完成,并于2023-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种薄膜一氧化氮传感器及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种薄膜一氧化氮传感器及制备方法,制备方法包括:将水溶性锌盐与水混匀得到A溶液;将2‑甲基咪唑、CTAB和水混匀得到B溶液;将A溶液与B溶液混匀得到反应液,水热反应得到MOFs材料;反应液中,CTAB的质量分数为0.01‑0.1%;将MOFs材料煅烧得到氧化锌纳米材料,溶解在松油醇中,搅拌后得到浆料,加至硅片上,然后进行匀胶,匀胶结束后干燥、退火得到退火器件;将退火器件进行焊接、封装得到所述薄膜一氧化氮传感器。本发明中采用表面活性剂CTAB控制MOFs粒子的形状和大小,使气体传感器具备高灵敏度的同时兼具选择性;同时该气敏材料的工作温度较低,能耗也低,可以用于一氧化氮气体检测。
本发明授权一种薄膜一氧化氮传感器及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种薄膜一氧化氮传感器的制备方法,其特征在于:包括以下步骤: S1、将水溶性锌盐与水混合均匀得到A溶液;将2-甲基咪唑、CTAB和水混合均匀得到B溶液;将A溶液与B溶液混合均匀得到反应液;将反应液进行水热反应,冷却后将固体干燥得到MOFs材料;其中,所述反应液中,CTAB的质量分数为0.01-0.1wt%;水溶性锌盐中含锌量、2-甲基咪唑、CTAB、水的质量体积比为0.131g:1.31g:0.003-0.0317g:30ml; S2、将MOFs材料煅烧得到氧化锌纳米材料; S3、将氧化锌纳米材料与松油醇混合,搅拌后得到浆料; S4、将浆料加至硅片上,然后进行匀胶,匀胶结束后干燥、退火得到退火器件; S5、将退火器件进行焊接、封装得到所述薄膜一氧化氮传感器。
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