买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉上海华力微电子有限公司申请的专利一种OPC修正方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116482930B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310487645.1，技术领域涉及：G03F1/36；该发明授权一种OPC修正方法是由齐雪蕊;陈翰;魏芳设计研发完成，并于2023-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种OPC修正方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种OPC修正方法，根据产品版图的OPC出版经验定义特征图形；对该种特征图形的特定边的分段采用特别的分段方法；基于常规的OPC修正方法对该特征图形进行修正，根据仿真值和目标值的差异预先对目标图形进行调整，基于调整后的目标图形进行后续OPC处理。本发明通过定义特征图形，对特征图形的指定边进行特殊分段，获得OPC后的仿真值和目标值的差异，并把该差异补偿在原有目标图形中，以此来实现特征图形的合理光学临近效应修正，使该种特征图形在OPC后的仿真值和目标值匹配，达到工艺要求，改善产品的良率。

本发明授权一种OPC修正方法在权利要求书中公布了：1.一种OPC修正方法，其特征在于，包括： 获取产品版图，定义特征图形，所述特征图形包括两个拐角及连接两个拐角的底部线段； 对所述产品版图使用常规OPC程序生成目标图形； 对所述目标图形中特征图形的底部线段进行三等均分； 对目标图形进行OPC修正仿真，获取仿真后三个分段的中心位置的仿真值， 计算三个分段的仿真值和目标值的差值，并将所述差值补偿至常规OPC程序的设置中； 基于补偿后的OPC程序进行目标图形的修正； 将所述差值补偿至常规OPC程序的设置包括：将各分段的差值分别对应补偿至各分段的目标值； 将各分段的差值分别补偿至目标值的方法包括： 使用常规OPC程序生成目标图像后，在目标图像上通过软件语言识别特征图形，并对所述特征图形的底部线段进行三等均分，临近拐角的两个分段的目标值进行后退补偿，中间分段的目标值进行外长； 临近拐角的两个分段的后退补偿值为N1，中间分段的外长值为N2， N1=EPE1+EPE32； N2=EPE2； 其中，所述特征图形的底部线段的长度为1倍设计关键尺寸，所述特征图形的底部线段的宽度为1倍设计关键尺寸，所述特征图形的两侧线段的长度为3倍设计关键尺寸； EPE1、EPE3分别为所述特征图形中临近拐角的两个分段的中心位置的仿真值，EPE2为所述特征图形中中间分段的中心位置的仿真值。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海华力微电子有限公司，其通讯地址为：201314 上海市浦东新区良腾路6号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。